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產品詳情

  • 產品名稱：日本FLUORO福樂高真空型泵

  • 產品型號：小型真空泵FV-60
  • 產品廠商：日本福樂
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
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簡單介紹：
小型真空泵FV-60（高真空型）特點
詳情介紹：

小型真空泵FV-60（高真空型）特點

小型真空泵FV-60
  • 通過將隔膜安裝在密閉空間內，分兩級減壓，采用串聯結構，獲得比FV-30約高2倍的真空壓力的機構。
  • HEPA過濾器安裝在進氣和排氣部分。也可用于潔凈室。此外，通過主機的透明窗口可以看到過濾器，因此您可以知道何時需要更換它。
  • 處理范圍相當于*大 12 英寸的硅晶圓。

規格

代碼

FV-60

姓名

真空泵FV-60

額定電壓

AC-100V(50Hz)

能量消耗

10.0W

極限吸氣壓力

-85kPa

流量

2.5升/分鐘

尺寸

長137×寬88×高133（毫米）

大量的

1.250克

續航時間

超過 9,000 小時

使用限制溫度

40℃

注1：泵流量和極限吸入壓力值均以50Hz表示。在 60Hz 下使用時，下降約 20%。
*此數據基于國內規格。

泵緩沖器

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